多機能走査型X線光電子分光分析装置

PHI500 VersaProbe　アルバック・ファイ社製

◯走査型マイクロフォーカスX線源 ◯最小分析ビーム径10 μm ◯最高エネルギー分解能 0.5 eV

化学結合状態の分析、元素分析が可能です。

電子スピン共鳴装置

JES-FA300　日本電子製

◯磁気共鳴、g値磁場依存性評価 ◯電界誘起キャリア密度・ダイナミクス評価 ◯測定帯域 Xバンド 約9 GHz、Ｑバンド 約35 GHz ◯最低計測可能温度 10 K

界面構造を持つ物質の界面近傍数 nm の厚みに存在するキャリアのスピン状態を計測することができます。

分光エリプソメータ

M-2000DI-T　Woollam社製

◯薄膜光学特性測定 ◯測定波長 193-1690 nm ◯チャンネル数690 ◯回転補償子型

薄膜の光学特性の評価に利用されます。

極限環境下電磁物性計測装置

PPMS-14LHatt　Quantum design社製

◯14 T 超伝導マグネット ◯温度制御範囲 1.9-400 K ◯試料サイズ 25.4 mm

輸送特性、磁気特性、熱輸送特性の計測が可能です。

環境制御マニュアルプローブステーション

東陽テクニカ製

◯低温プローブ部、東陽テクニカ CRX-4K型（6 K~350 K） ◯高温プローブ部、東陽テクニカ HCP-401/400型（ 室温 673 K） ◯半導体パラメータ測定部 東陽テクニカ 4200型 ◯強誘電体測定部 東陽テクニカ FCE1EEA-200型 ◯インピーダンス測定部 ソーラートロン 126096W

インピーダンス周波数特性、強誘電体分極特性、キャパシタ周波数測定等が可能です。

走査型プローブ顕微鏡

L-trace II　日立ハイテクノロジーズ製

◯分解能面内 0.5 nm ◯垂直方向 0.05 nm ◯試料サイズ直径 150 ｍｍ 厚さ 22 ｍｍ ◯低ドリフト構造

物質表面の形状評価に利用されます。