下記のとおり【2025年度 武田SCRセミナー “ULVACドライエッチングセミナー”】を開催いたします。
ARIMユーザーの皆様、関係者の方には、是非ともご参加いただけますようお願いいたします。

【開催要項】
日時： 2025年10月9日(木) 15:00～16:30
場所：東京大学　武田先端知ビル１階　102セミナー室
（アクセス：https://www.u-tokyo.ac.jp/campusmap/cam01_04_16_j.html）
　　　　　　＋　Zoomによるハイブリッド形式
講師：(株)アルバック　半導体電子事業本部　上村隆一郎様
　　　同　先進技術研究所　半導体応用技術　谷野健太様
参加対象者：エッチング技術に関心がある方
　　　　　　（同業他社の方はお断りさせていただく場合があります）
定員：40名（現地）＋300名（オンライン）
参加費：無料

【お申込み】 以下のURLよりお申し込みください。
https://forms.gle/vbL8e4ovK6shX1Fx5
締め切り：2025年10月6日(月)　※定員になり次第、締め切らせていただきます

【講演内容】 詳細は添付のPDFファイルをご覧ください。
　　　　　　 251009_武田SCRセミナー_ULVACエッチング_v6

【お問い合わせ】東京大学　ナノテク支援室
Tel:03-5841-1506　(内線21506)