異種材料接合基板における界面構造解析
- 三菱マテリアル株式会社
- 寺崎伸幸・長友義幸・長瀬敏之・秋山和裕・黒光祥郎
- 支援者：熊本明仁・柴田直哉・名雪桂一郎・藤平哲也・幾原雄一
STEM法と超高感度X線分析法を用いて、Al合金とAlN基板の界面の組成分布解析を行ったところ、Al合金中のMg原子が界面に偏析し、単原子層構造を形成していることがわかった。また、この周囲では酸素(O)原子も層状構造を形成しており、数原子層レベルで複雑な界面層状構造が自己組織的に形成されることにより、極めて強固な接合を実現できることが明らかとなった。本研究成果は国際誌掲載および、特許が取得された。
A.Kumamoto, et al., Sci. Rep. 6, 22936 (2016).
界面付近ではバルク構造とは異なる層状の遷移構造を形成している。