ABOUT
概要
微細構造解析部門運営体制図
実施体制(東大ハブ)
- 総長
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藤井 輝夫 実施機関長
- 工学系研究科長
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加藤 泰浩
- 総合研究機構長
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柴田 直哉
- ナノ工学研究センター長
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幾原 雄一 (代表者)
- 運営委員会(課題選定および審査)
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幾原 雄一 教授高橋 浩之 教授柴田 直哉 教授田浦 健次朗 教授塩見 淳一郎 教授三田 吉郎 教授
- 総括コーディネート室
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落合 幸徳森山 和彦井上 佳寿恵
微細構造解析部門
統括責任者
幾原雄一
教授(工)
- コーディネート室
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リーダー 柴田 直哉 教授(工)室長 森山 和彦
⑥ マテリアルデータ解析チーム
澁田 靖
教授(工)
微細加工部門
統括責任者
高橋 浩之
教授(工)
データ基盤部門
統括責任者
田浦 健次朗
教授(情)
微細構造解析部門の装置群
無機材料原子構造計測部門
- 低加速電圧対応原子分解能走査型透過電子顕微鏡 JEM-ARM200F NeoARM(JEOL) TEM/STEM
- ハイコントラスト透過型分析電子顕微鏡 JEM-2010HC(JEOL) TEM/STEM
- 環境対応型超高分解能電子顕微鏡 JEM-ARM200F Cold dual(JEOL) TEM/STEM
- 透過/走査型分析電子顕微鏡 JEM-2800 SDD(JEOL) TEM/STEM
- 原子分解能元素マッピング構造解析装置 JEM-ARM200F SDD(JEOL) TEM/STEM
- 超高分解能透過型電子顕微鏡JEM-ARM200F(JEOL) TEM/STEM
- 軽元素対応型 超高分解能走査透過型電子顕微鏡 JEM-ARM200F Cold SDD(JEOL) TEM/STEM
- 高分解能分析電子顕微鏡 JEM-2010F(JEOL) TEM/STEM
- 高分解能トップエントリー型透過型電子顕微鏡 JEM-2000EX(JEOL) TEM/STEM
- 集束イオン/電子ビーム 複合ビーム加工観察装置 JIB-PS500i (JEOL) FIB
- CADデータ連動3次元機能融合デバイス 評価用前処理システム XVision200TB(Hitachi High-Tech) FIB
- 高分解能走査型分析電子顕微鏡 JSM-7800F Prime(JEOL) SEM
- 高分解能走査型電子顕微鏡 JSM-7000F(JEOL) SEM
- 低真空走査型電子顕微鏡 JSM-6510FA(JEOL) SEM
- 低損傷走査型分析電子顕微鏡 JSM-7500FA(JEOL) SEM
- クロスセクションポリシャー SM-090010(JEOL), SM-090020(JEOL) TEM SEM sample
- イオンスライサー EM-09100IS(JEOL) TEM SEM sample
- クライオイオンスライサー IB-09060CIS(JEOL) TEM SEM sample
- ウルトラミクロトーム UC7型(Leica) TEM/STEM
電子状態計測部門
- 多機能走査型X線光電子分光装置 PHI 5000 VersaProbe(ULVAC-PHI) XPS
- 多機能走査型X線光電子分光分析装置XPS with AES (PHI 5000) PHI 5000 VersaProbeⅢ (ULVAC-PHI) XPS
- 分光エリプソメータ M-2000DI-T(J.A.Woolam) Light, electric, magnetic properties
- 電子スピン共鳴装置ESR JES-FA300(JEOL) Light, electric, magnetic properties
低炭素材料・デバイス物性構造計測部門
- 高輝度In-plane型X線回折装置 SmartLab(Rigaku) XRD
- 粉末X線回折装置 SmartLab(3kW)(Rigaku) XRD
- 粉末X線回折装置 SmartLab(Kα1)(Rigaku) XRD
- 微小結晶構造解析装置 VariMax Dual(Rigaku) XRD
- 極限環境下電磁物性計測装置 PPMS-14LHatt(Quantum Design) Light, electric, magnetic properties
- 環境制御マニュアルプローバステーション CRX-4K(Lake Shore) Light, electric, magnetic properties
TEM/STEM
11台
SEM
4台
FIB
2台
XRD
4台
XPS
2台
SIMS
1台
TEM SEM sample
5台
Light, electric, magnetic properties
4台