試料作製装置
クロスセクションポリッシャー（CP）JEOL SM-09010 09020
アルゴンイオンビームで試料加工（断面作製）するSEM/EPMAなどの試料作製装置です
イオンスライサー JEOL EM-09100IS
クライオイオンスライサー（Cryo-IS） JEOL IB-09060CIS
| イオン加速電圧 | 1～８kV |
|---|---|
| 使用ガス | アルゴンガス |
| イオンビーム幅 | 500um |
| ミリングスピード | 5um/min（加速電圧：8kV/Si換算） |
| 試料ホルダ冷却温度 | -120℃ |
| 冷却保持時間 | 8時間 |
| 冷却到達時間 | 1時間 |
| 試料取り出し時間 | 30分 |
熱に弱い試料の薄膜/断面作製が可能です。
ウルトラミクロトーム（UC7型）
EM UC7 / ライカバイオシステムズ製
・静電気式ピックアップ法
・視認性の高LED照明システム
・ユーセントリック動作を搭載した実体顕微鏡
NanoMill Model 1040（Fishione Instruments）
NanoMill Model 1040 / フィッショネ製
| イオンエネルギー | 50～2000eV |
|---|---|
| 点分解能 | 2μm（900eV,Cu） |
| 倍率 | 100～2000倍 |
| ミリングレート | 1nm/min |
透過型電子顕微鏡/走査透過型電子顕微鏡用試料の作製装置です。
FIB加工やイオン研磨によって生じた試料表面のダメージ層の除去を行い試料の最終仕上げ研磨を行います。