文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ
設備案内
冷陰極電界放出型の電子銃を使用していることから低加速電圧でも高い分解能が得られ、電子線に敏感な試料の観察にも適しています。
インレンズショットキー電解放出型の電子銃を採用しており、高い分解能と大照射電流での安定した分析が可能な装置です。
各種の試料の表面形態の高分解能観察が可能な他、EBSDによる結晶方位解析を行えます。
低真空環境で観察でき、導電処理ができない試料も観察可能です。
JIB-4600F(日本電子)
高性能FIB-SEMによりピンポイントでの断面作製と加工状況のリアルタイムモニタリングが可能。 *現在TEM薄膜試料作製は不可。XVision200TBをご利用ください。
XVision200TB(日立ハイテクノロジーズ)
TEM試料作製および断面観察(Cut&See)