物理特性/電気特性/表面計測装置
多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)with AES(PHI 5000 with AES)
![多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)with AES(PHI 5000 with AES)](https://lcnet.t.u-tokyo.ac.jp/wp-content/uploads/2023/02/UT301-300x218.jpg)
PHI 5000 VersaProbe Ⅲ/ アルバックファイ
最小ビーム径 | 10μm以下 |
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最高エネルギー分解能 | 0.5eV以下(Ag3d 5/2) |
最大感度 | 1,000,000cps(Ag3d 5/2の半値幅1.0eVのとき) |
到達真空度 | 6.7×10-8Pa以下 |
AES最小分析領域 | 100nm |
・ 走査型マイクロフォーカスX線源による微小領域分析(最小分析領域10μm)
・ SXI(Scanning X-ray Image)により、正確・迅速に微小な分析位置を特定
・ 低エネルギー電子とイオンの同時照射により、絶縁物試料を容易に帯電中和
・ 5軸(X、Y、Z、Tilt、Rotation)モータ駆動による多点分析
・オージェ電子分光機能がついており、XPSとAESで同一か所の測定が可能