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超微量元素分析システム
物理特性/電気特性/表面計測装置
試料作製装置
超微量元素分析システム
超微量元素計測システム(NanoSIMS 50L)
NanoSIMS 50L Cameca社製
一次イオン種
Cs+, O- (16 keV)
最小ビーム径
Cs+ < 50 nm
O- < 200 nm
質量分析計
二重収束型
微量元素や同位体の高分解能マッピングや微小領域の分析が可能です。
同時に7種類の二次イオンの検出ができます。
超微量元素計測システム(NanoSIMS(予備分析))